ICS17.040.20 GB CCSJ04 中华人民共和国国家标准 GB/T33523.603—2022/IS025178-603:2013 产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性 Geometricalproduct specifications (GPS)Surface texture:Areal- Part 6o3:Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy)instruments （IS025178-603:2013,IDT） 2022-12-30发布 2023-04-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T33523.603—2022/ISO25178-603:2013 目次前言 IⅢI 引言 IV 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 影响量的描述 11 附录A（资料性）相移干涉（PSI)显微镜的组件 14 附录B（资料性）相移干涉（PSI）显微镜的工作原理 15 附录C（资料性）相移干涉（PSI）显微镜的误差和修正 18 附录D（资料性）与GPS矩阵模型的关系 21 参考文献 22

GB-T 33523.603-2022 产品几何技术规范 GPS 表面结构区域法第603部分：非接触相移干涉显微式仪器的标称特性

文档预览

中文文档 29 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分

赞助2元下载(无需注册)

温馨提示：本文档共29页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档

GB-T 33523.603-2022 产品几何技术规范 GPS 表面结构区域法第603部分：非接触相移干涉显微式仪器的标称特性第 1 页

GB-T 33523.603-2022 产品几何技术规范 GPS 表面结构区域法第603部分：非接触相移干涉显微式仪器的标称特性第 2 页

GB-T 33523.603-2022 产品几何技术规范 GPS 表面结构区域法第603部分：非接触相移干涉显微式仪器的标称特性第 3 页

下载文档到电脑，方便使用

赞助2元下载

本文档由人生无常于 2024-03-30 15:11:05上传分享

下载原文档(4.1 MB)

友情链接

交流群

-->

GB-T 33523.603-2022 产品几何技术规范 GPS 表面结构 区域法 第603部分：非接触 相移干涉显微 式仪器的标称特性

GB-T 33523.603-2022 产品几何技术规范 GPS 表面结构区域法第603部分：非接触相移干涉显微式仪器的标称特性