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ICS17.040.20 GB CCSJ04 中华人民共和国国家标准 GB/T33523.603—2022/IS025178-603:2013 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微)式 仪器的标称特性 Geometricalproduct specifications (GPS)Surface texture:Areal- Part 6o3:Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy)instruments (IS025178-603:2013,IDT) 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T33523.603—2022/ISO25178-603:2013 目 次 前言 IⅢI 引言 IV 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 影响量的描述 11 附录A(资料性) 相移干涉(PSI)显微镜的组件 14 附录B(资料性) 相移干涉(PSI)显微镜的工作原理 15 附录C(资料性) 相移干涉(PSI)显微镜的误差和修正 18 附录D(资料性) 与GPS矩阵模型的关系 21 参考文献 22
GB-T 33523.603-2022 产品几何技术规范 GPS 表面结构 区域法 第603部分:非接触 相移干涉显微 式仪器的标称特性
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