ICS71.040.40 CCS G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T40110—2021/ISO14706:2014 表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染 Surface chemical analysisDetermination of surface elemental contamination on silicon wafers bytotal-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy (ISO14706:2014,IDT) 2021-05-21发布 2021-12-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会

GB-T 40110-2021 表面化学分析全反射X射线荧光光谱法 TXRF 测定硅片表面元素污染

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