ICS_31. 200 L 97 中华人民共和国国家标准 GB/T16878—1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture 1997-06-20发布 1998-03-01实施国家技术监督局发布 GB/T16878—1997 目次前言 1 范围 2 引用标准 3 定义要求 5 应用指南

GB-T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

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