说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
ICS31.030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T29844—2013 用 于先进集成电路光刻工艺综合 评估的图形规范 Specificationsformetrologypatternsforthe evaluationofadvancedphotolithgraphy 2013-11-12发布 2014-04-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 中华人民共和国 国家标准 用于先进集成电路光刻工艺综合 评估的图形规范 GB/T29844—2013 * 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号(100013) 北京市西城区三里河北街16号(100045) 网址:www.gb168.cn 服务热线:010-51780168 010-68522006 2014年1月第一版 * 书号:155066·1-47943 版权专有 侵权必究 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:上海华虹NEC电子有限公司。 本标准主要起草人:王雷、伍强、朱骏、陈宝钦。 ⅠGB/T29844—2013
GB-T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
文档预览
中文文档
12 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共12页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2025-02-21 14:17:28
上传分享
举报
下载
原文档
(625.8 KB)
分享
友情链接
DB11-T 948.13-2013 电梯运行安全监测信息管理系统技术规范 第13部分:平台维护要求 北京市.pdf
GB-T 6490-2021 水轮泵.pdf
GM-T 0032-2014 基于角色的授权与访问控制技术规范.pdf
T-GHDQ 88.1—2022 车辆无线通信安全测试规范 第1部分:车载蓝牙安全测试规范.pdf
YD-T 3902-2021 数据中心无损网络典型场景技术要求和测试方法.pdf
GB-T 33757.1-2017 分布式冷热电能源系统的节能率 第1部分:化石能源驱动系统.pdf
商用密码检测机构管理办法(征求意见稿).pdf
GB-T 35465.3-2017 聚合物基复合材料疲劳性能测试方法 第3部分:拉-拉疲劳.pdf
GB-T 41013-2021 电机系统能效评价.pdf
DL-T 2036-2019 高压交流架空输电线路可听噪声计算方法.pdf
GB-T 31710.3-2015 休闲露营地建设与服务规范 第3部分:帐篷露营地.pdf
T-SGGG 0001.3—2021 家装用外窗节能安全玻璃 第3部分:过程控制与质量保证.pdf
网络信息安全法律法规汇编 2020.pdf
SL 285-2020 水利水电工程进水口设计规范.pdf
T-CACM 1352—2021 慢性溃疡气虚毒滞证诊断标准.pdf
GBT 50064-2014 交流电气装置的过电压保护和绝缘配合设计规范.pdf
GB-T 29157-2012 浮法玻璃生产生命周期评价技术规范 产品种类规则.pdf
CSA 安全数据湖的敏捷数据原则.pdf
LY-T 3104-2019 沟眶象和臭椿沟眶象防治技术规程.pdf
GA-T 1390.2-2017 信息安全技术 网络安全等级保护基本要求 第2部分 云计算安全扩展要求.pdf
交流群
-->
1
/
3
12
评价文档
赞助2元 点击下载(625.8 KB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。